Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Сейчас довольно трудно встретить системы в которых не используются
Сообщение МЭМСы. Как устроены современные датчики? появились сначала на Интернет портал.